释义 |
离子注入 Encyclopedia
工学[粒子束流与固体相互作用]释 ion implantation离子注入 用注入离子的方式对固态材料进行掺杂和改性的过程。 工学[薄膜材料]释 ion implantation离子注入 用能量为100千伏量级左右的离子束入射到材料中去,离子束与材料中的原子或分子将发生一系列物理化学作用,入射离子逐渐损失能量,最后停留在材料中,并引起材料表面成分、结构和性能发生变化,从而优化材料表面性能,或获得某些新的优异性能的一种技术。 工学〔离子束技术〕释 ion implantation离子注入 将加速器产生的荷能离子注入材料的过程。注入离子在材料中行进一段距离后滞留。注入的材料表面性质发生改变,具有耐磨损、耐腐蚀、硬度高等特性。 理学〔核技术应用〕释 ion implantation离子注入 将特定的电离杂质原子经静电场加速打到晶圆表面,从而向材料中引入可控数量的杂质的过程。
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ion implantation离子植入†,离子注入
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