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化学刻蚀
释义
化学刻蚀
Encyclopedia
工学
磁致动器
释
chemical etching
化学刻蚀
纯粹利用等离子体中的活性原子团(活性自由基,不带电,不受电场的加速作用)与被刻蚀对象发生化学反应,产生挥发性的产物,被真空系统抽离反应室而实现材料去除的技术。
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更新时间:2025/7/29 22:51:16