“化学刻蚀”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	化学刻蚀
释义	化学刻蚀 Encyclopedia 工学磁致动器释 chemical etching化学刻蚀纯粹利用等离子体中的活性原子团（活性自由基，不带电，不受电场的加速作用）与被刻蚀对象发生化学反应，产生挥发性的产物，被真空系统抽离反应室而实现材料去除的技术。
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