“溅射”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	溅射
释义	溅射 Encyclopedia 工学核技术基础释 sputtering溅射当靶表面遭受入射载能离子轰击时，通过核能损及电子能损等过程，向外发射原子（原子团）或分子等的现象。 Physics 原子核物理学、粒子物理学原子核物理学 sputtering溅射 atomization①雾化 ②原子化 ③溅射 spattering溅射 spitting溅射，分散 spraying喷涂，溅射 sputtering溅射^† Astronomy sputtering溅射
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