“局部氧化”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	局部氧化
释义	局部氧化 Encyclopedia 工学硅热氧化工艺释 local oxidation局部氧化在半导体硅片上的选定区域中形成低于衬底表面的二氧化硅，以实现器件隔离的集成电路制造工艺技术。
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