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单词 射频等离子体
释义
射频等离子体

Encyclopedia

  • 工学﹝等离子体驱动形式﹞
    radio-frequency plasma射频等离子体
    使用频率范围在1~200兆赫的射频交变电源驱动,放电产生的等离子体。

  • 理学气体放电
    radio frequency plasma射频等离子体
    由射频电磁场(2~200兆赫)激励气体放电产生的等离子体。包括容性耦合等离子体、感性耦合等离子体和螺旋波等离子体。

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