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phase shift mask technology
释义
phase shift mask technology
Encyclopedia
工学
光刻技术
释
phase shift mask technology
相移掩膜技术
集成电路制造中,在光刻环节同时利用光线的强度和相位来成像,得到更高分辨率的分辨率增强技术。
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更新时间:2024/12/26 0:43:50