“phase shift mask technology”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	phase shift mask technology
释义	phase shift mask technology Encyclopedia 工学光刻技术释 phase shift mask technology相移掩膜技术集成电路制造中，在光刻环节同时利用光线的强度和相位来成像，得到更高分辨率的分辨率增强技术。
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