“immersion lithography technology”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	immersion lithography technology
释义	immersion lithography technology Encyclopedia 工学光刻技术释 immersion lithography technology浸入式光刻技术集成电路制造中，利用光通过液体介质后光源波长缩短来提高分辨力的光刻技术。一般指ArF（193纳米）浸入式光刻技术。
随便看	屈服点屈服面屈柘屈梁生屈氏体屈突通屈米，B. 屈肌屈肌反射屈肌褶纹屈赋微屈赛，S. 屈银华屈雷斯加应力屈骚指掌屋屋久岛屋内配电装置屋外有热流屋大维屋形图屋架形制屋漏脉屋翳屋背岭遗址

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