“immersion lithography technology”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	immersion lithography technology
释义	immersion lithography technology Encyclopedia 工学光刻技术释 immersion lithography technology浸入式光刻技术集成电路制造中，利用光通过液体介质后光源波长缩短来提高分辨力的光刻技术。一般指ArF（193纳米）浸入式光刻技术。
随便看	光波导无源器件光波导有源器件光波形图 [光]波的叠加原理光波的叠加原理光波通讯光波长计光波雷达光注入光泳光泳力光泵光泵浦光泵激光泵磁力仪光泽光泽县光泽度光泽度仪光泽度计量技术光泽整理光泽癣光泽计光洁度光活化

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。