“immersion lithography technology”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	immersion lithography technology
释义	immersion lithography technology Encyclopedia 工学光刻技术释 immersion lithography technology浸入式光刻技术集成电路制造中，利用光通过液体介质后光源波长缩短来提高分辨力的光刻技术。一般指ArF（193纳米）浸入式光刻技术。
随便看	反转温度反转片反转[粒子数]布居反转粒子数布居反转线反转缠结反转缠结猜想反转触发器反转软片反转过程反转集居数饱和反轴反轻子反载体反辉反辐射导弹反辐射弹头反辐射攻击反辐射无人机反运动反运算反远摄物镜反远摄透镜反远距型物镜反连分数

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。