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单词 air pressure chemical vapor deposition
释义
air pressure chemical vapor deposition

Encyclopedia

  • 工学化学气相淀积工艺
    air pressure chemical vapor deposition; APCVD常压化学气相沉积
    在压力接近常压下进行化学气相沉积(chemical vapor deposition; CVD)反应的一种沉积技术。

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