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单词
direct laser lithography
释义
direct laser lithography
Encyclopedia
工学
光刻技术
释
direct laser lithography
激光直写光刻
利用强度可变的激光束对基片表面的抗刻蚀材料进行曝光,显影后在抗蚀层形成所需图形的过程。
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更新时间:2025/3/15 0:01:28