“directed self-assembly lithography technology”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	directed self-assembly lithography technology
释义	directed self-assembly lithography technology Encyclopedia 工学光刻技术释 directed self-assembly lithography technology;DSA定向自组装光刻技术集成电路制造中，运用材料内部的自然机制来产生有序结构进而强化光刻的技术。
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