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direct current sputtering
释义
direct current sputtering
Encyclopedia
工学
表面技术
释
direct current sputtering
直流溅射
在真空环境中将阴阳两电极之间加上一定的电压,气体就会发生自激放电,从阴极发射出的原子或原子团可沉积在阳极或真空室的壁上从而沉积成薄膜的技术。又称阴极溅射、二极溅射。
工学
表面技术
释
direct current sputtering
射频溅射
利用射频放电等离子体中的正离子轰击靶材,溅射出的靶材原子沉积在接地的基板表面从而形成薄膜的技术。
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更新时间:2025/4/7 11:40:50