“deep silicon etching”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	deep silicon etching
释义	deep silicon etching Encyclopedia 工学刻蚀工艺释 deep silicon etching深硅刻蚀在集成电路制造中，选用硅（Si）作为刻蚀微结构加工对象的深等离子体刻蚀技术。又称大深宽比刻蚀或先进硅刻蚀。
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