“高密度等离子体刻蚀”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	高密度等离子体刻蚀
释义	高密度等离子体刻蚀 Encyclopedia 工学刻蚀工艺释 high-density plasma etching高密度等离子体刻蚀在集成电路制造中，利用高频辉光放电反应原理产生等离子体的干法刻蚀技术。
随便看	戈德比伦-维伊类戈德里克-列文定理戈德里克列文定理戈德马克·卡罗伊戈文德国家公园戈斯戈斯崖陨星坑戈斯波丁诺夫，G. 戈斯珀戈斯珀岛戈斯福特戈曼，M. 戈杜诺夫戈杜诺夫方法戈杜诺夫格式戈杜诺夫法戈杜诺夫，S.K. 戈林-马赫雷罗协定戈林，G.I. 戈林，H. 戈梅利戈梅斯，A.C. 戈比丹·李戈比诺，J.-A.de 戈比软件

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。