“靶材料”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	靶材料
释义	靶材料 Encyclopedia 工学铍合金释 target materials靶材料荷能粒子轰击或加热蒸发的目标材料。通常指溅射靶材，通过等离子或电子束轰击靶材，在特定的基面上形成10～10000纳米级薄膜，进而通过后续加工工艺形成导电层、栅极、阻挡层、绝缘层和线路等。
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