“钽靶材”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	钽靶材
释义	钽靶材 Encyclopedia 工学钽释 tantalum target钽靶材通过磁控溅射等物理气相沉积法或其他镀膜方法在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。是钽薄膜制备过程中高速荷能粒子轰击的目标钽材料。
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