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金属有机物气相外延设备
释义
金属有机物气相外延设备
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工学
半导体照明装备
释
metal-organic vapor-phase epitaxy equipment
金属有机物气相外延设备
采用金属有机化合物和气态元素进行化学反应,生长薄膜材料的制造设备。
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更新时间:2026/5/19 17:42:54