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金属有机物化学气相沉积设备
释义
金属有机物化学气相沉积设备
Encyclopedia
工学
半导体照明材料外延
释
metal-organic chemical vapor deposition,MOCVD
金属有机物化学气相沉积设备
采用金属的有机化合物和气态元素进行化学反应,生长薄膜材料的先进制造设备。
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更新时间:2026/2/12 10:21:12