| 释义 |
金属有机物化学气相沉积
Encyclopedia
工学固态光源释
metal organic chemical vapor deposition金属有机物化学气相沉积
1968年为解决制备化合物半导体薄膜单晶的难题而提出的一项新技术。简写为MOCVD。
工学表面物理释
metal-organic chemical vapor deposition; MOCVD金属有机物化学气相沉积
通过载流气体将金属有机反应源的饱和蒸汽带入包含其他反应气体的腔体中混合，在加热的衬底表面发生化学反应并沉积形成薄膜的技术。
理学金属有机化学气相沉积释
metal-organic chemical vapor deposition; MOCVD; MOVPE; OMVPE; OMCVD金属有机物化学气相沉积
利用有机金属热分解反应进行气相外延生长薄膜的化学气相沉积技术。
Physics
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