| 释义 |
金属有机化合物气相外延
Encyclopedia
工学半导体外延生长释
metalorganic vapor phase epitaxy金属有机化合物气相外延
Ⅲ族金属有机物与Ⅴ族氢化物或烷基化合物用氢气载流，在加热的单温区进行分解并在衬底上沉积的技术。简称MOVPE。又称金属有机化学气相沉积。
理学〔半导体材料〕释
metal organic compound vapour phase epitaxy金属有机化合物气相外延
化学气相沉积中的一种，主要反应物原料气体采用金属有机化合物。又称金属有机化合物气相沉积（MOCVD）。
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