“金属微机电系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	金属微机电系统
释义	金属微机电系统 Encyclopedia 工学微纳器件释 metal-based MEMS金属微机电系统以金属为主要功能及结构材料的微机电系统（micro electro-mechanical system，MEMS）器件。
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