“超精密机电一体化系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	超精密机电一体化系统
释义	超精密机电一体化系统 Encyclopedia 工学机电一体化释 ultra-precision mechatronics system超精密机电一体化系统在超精密极限性能需求下，机械、测量与光电控制技术的更高层次的深度融合与综合集成。
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