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单词 表面牺牲层工艺
释义
表面牺牲层工艺

Encyclopedia

  • 工学封装技术
    surface sacrificial layer process表面牺牲层工艺
    通过牺牲层的释放形成空腔上膜或其他悬空结构,可以制造出多种活动的微结构的工艺技术。

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