“蒸镀”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	蒸镀
释义	蒸镀 Encyclopedia 工学[薄膜材料]释 vapor deposition蒸镀将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。工学薄膜沉积释 evaporation蒸镀在真空室中，加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料，使其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸气流，入射到固体（称为衬底或基片）表面，凝结形成固态薄膜的方法。 Physics deposition①沉积^†，淀积 ②蒸镀 evaporation①蒸发^† ②蒸镀
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