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自对准硅化物
释义
自对准硅化物
Encyclopedia
工学
CMOS工艺
释
self-aligned silicide
自对准硅化物
集成电路制造中,用于半导体器件中栅极与源漏区自对准形成金属化硅化物,与金属线形成低阻通道的工艺技术。
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更新时间:2025/9/1 22:25:11