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单词 自对准硅化物
释义
自对准硅化物

Encyclopedia

  • 工学CMOS工艺
    self-aligned silicide自对准硅化物
    集成电路制造中,用于半导体器件中栅极与源漏区自对准形成金属化硅化物,与金属线形成低阻通道的工艺技术。

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