“自对准技术”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	自对准技术
释义	自对准技术 Encyclopedia 工学【半导体工艺技术】释 self-alignment technique自对准技术微电子技术中利用元件、器件结构特点实现光复印自动对准的技术。
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