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单词 自对准双重曝光技术
释义
自对准双重曝光技术

Encyclopedia

  • 工学光刻技术
    self alignment double exposure technology自对准双重曝光技术
    集成电路制造中,在光刻环节对光刻胶覆盖的晶片分别进行两次曝光的技术。

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