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单词 聚焦离子束技术
释义
聚焦离子束技术

Encyclopedia

  • 工学〔纳米科学中核技术〕
    focused ion beam technology; FIB聚焦离子束技术
    利用电透镜将离子束聚焦成微米尺寸的束斑轰击材料表面,实施显微切割和加工,进而实现材料的剥离、沉积、注入和改性的一种技术。

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