“聚焦离子束加工技术”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	聚焦离子束加工技术
释义	聚焦离子束加工技术 Encyclopedia 工学【半导体工艺技术】释 focus ion beam technology聚焦离子束加工技术通过液态金属镓（Ga）离子源产生的离子束经过离子枪加速，经聚焦后在样品表面扫描，收集离子束轰击样品产生的二次电子和二次离子，获得聚焦离子束显微图像的技术。
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