“聚焦离子束光刻”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	聚焦离子束光刻
释义	聚焦离子束光刻 Encyclopedia 工学磁致动器释 focused ion beam lithography聚焦离子束光刻在聚焦离子束技术基础上将原子离化后形成离子束的能量控制在10～200千电子伏特，在工件表面采用直接扫描、掩模曝光或者投影曝光加工微细线条图案，制备微纳器件的工艺。 Physics ＞光学＞纳米光学和超快光学＞释义 focus ion beam milling聚焦离子束光刻
随便看	定常约束定常轨道定常迭代定常迭代法定常问题定常飞行定幅定幅体定幅曲线定幅曲面定幅筘定序定序变量定序器定序尺度定序数据定式与非定式定形定形式定形式型定影定影剂定影液定径带定径机

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