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单词 聚焦离子束光刻
释义
聚焦离子束光刻

Encyclopedia

  • 工学磁致动器
    focused ion beam lithography聚焦离子束光刻
    在聚焦离子束技术基础上将原子离化后形成离子束的能量控制在10~200千电子伏特,在工件表面采用直接扫描、掩模曝光或者投影曝光加工微细线条图案,制备微纳器件的工艺。

Physics

  • >光学>纳米光学和超快光学>释义
    focus ion beam milling聚焦离子束光刻

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