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缓冲层技术
释义
缓冲层技术
Encyclopedia
工学
固态光源
释
buffer layer
缓冲层技术
现在利用金属有机物化学气相沉积技术制备氮化镓薄膜,标准方法是采用两步生长技术,即先在蓝宝石基片上在较低温度下沉积一层,为氮化铝或氮化镓,这一层就称之为缓冲层,然后升高温度,外延生长氮化镓材料。如果外延氮化镓薄膜是利用碳化硅或硅作为衬底,往往利用高温下生长氮化铝作为缓冲层。
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更新时间:2024/7/1 0:26:56