“纳米压印技术”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	纳米压印技术
释义	纳米压印技术 Encyclopedia 工学光电子器件制备技术释 nanolithography纳米压印技术通过机械压力和温度的控制将纳米压印母版上已做好的图形转移到纳米压印胶上的纳米图形制造技术。其极限分辨率只受母版分辨率的影响而不受光学衍射极限的限制。理学纳米压印技术释 nanoimprint technique纳米压印技术利用机械压力将模板上的纳米图案等比例压印复制到目标基底上的纳米图形加工技术。
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