“纳米光学光刻”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	纳米光学光刻
释义	纳米光学光刻 Encyclopedia 工学光刻技术释纳米光学光刻针对0.1～100纳米尺度的光学光刻。是纳米光刻技术的一个分支。
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