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等离子体抛光
释义
等离子体抛光
Encyclopedia
工学
等离子体抛光
释
plasma polishing
等离子体抛光
等离子体抛光是常压下利用高频激励产生活性物质,与基底材料发生化学反应,高速去除硅基材料的抛光方法。
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更新时间:2025/12/4 3:44:07