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等离子体成像光刻
释义
等离子体成像光刻
Encyclopedia
工学
等离子体成像光刻
释
plasmonic imaging lithography
等离子体成像光刻
利用金、银等贵金属膜层作为超分辨成像透镜的等离子体光刻技术。
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更新时间:2025/6/9 15:08:40