“等离子体成像光刻”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	等离子体成像光刻
释义	等离子体成像光刻 Encyclopedia 工学等离子体成像光刻释 plasmonic imaging lithography等离子体成像光刻利用金、银等贵金属膜层作为超分辨成像透镜的等离子体光刻技术。
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