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等离子体光刻
释义
等离子体光刻
Encyclopedia
工学
等离子体光刻
释
plasmonic lithography
等离子体光刻
利用金和银等贵金属所激发的表面等离子体共振效应,突破传统光刻分辨力衍射极限的新型光刻技术。
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更新时间:2025/4/25 21:14:43