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单词 等离子体光刻
释义
等离子体光刻

Encyclopedia

  • 工学等离子体光刻
    plasmonic lithography等离子体光刻
    利用金和银等贵金属所激发的表面等离子体共振效应,突破传统光刻分辨力衍射极限的新型光刻技术。

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