“离子溅射仪”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	离子溅射仪
释义	离子溅射仪 Encyclopedia 工学制样/消解设备释 ion sputtering equipment离子溅射仪采用二极直流溅射原理设计而成的离子溅射镀膜设备。
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