“离子注入掺杂工艺”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	离子注入掺杂工艺
释义	离子注入掺杂工艺 Encyclopedia 工学离子注入掺杂工艺释 ion implantation doping technique离子注入掺杂工艺将加速到一定高能量的离子束注入固体材料表面层内，以改变材料表面层物理和化学性质的工艺。
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