“离子束溅射镀膜装置”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	离子束溅射镀膜装置
释义	离子束溅射镀膜装置 Encyclopedia 工学物理气相沉积技术释 ion beam sputtering deposition system离子束溅射镀膜装置通过离子束轰击固体靶材，使溅射的粒子沉积于基材（工件）形成固体薄膜的一种真空镀膜装置，主要由真空系统、离子源、溅射靶材、控制系统等几部分组成。
随便看	空间质量分层空间费用函数空间资源空间超环面调和函数空间距离空间转动空间转动不变性空间轴空间轴对称空间轴规范空间载波空间辐射空间辐射处理空间辐射损伤空间辐射探测空间辐射效应分子机制空间辐射热阻空间辐射环境空间辐射环境地面模拟技术空间辐射生物学空间辐射生物效应空间辐射的致癌效应空间辐射粒子空间辐射能谱空间辐射致DNA损伤

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。