“离子束抛光”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	离子束抛光
释义	离子束抛光 Encyclopedia 工学离子束抛光释 ion beam figuring; IBF离子束抛光离子束抛光采用被充电的高能原子或离子（离子的质量较原子质量更大，因而可获得更大的动能），在真空状态下由离子枪射向工件，材料在离子束的轰击下实现去除。工学超精密加工释 ion beam polishing离子束抛光利用离子束轰击工件进行的抛光加工方法。又称离子束修形、离子抛光、离子铣。
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