“离子束加工”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	离子束加工
释义	离子束加工 Encyclopedia 工学工业核技术释 ion beam machining离子束加工利用荷能离子束轰击工件表面，实现材料的刻蚀、沉积、杂质注入和改性的工艺方法。
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