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离子探针质谱分析器
释义
离子探针质谱分析器
Encyclopedia
工学
[核技术分析方法]
释
ion microprobe mass analyzer
离子探针质谱分析器
测量固体表面微区组成的一种质谱分析仪器。又称为二次离子质谱仪(Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS)。
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更新时间:2025/12/7 14:59:11