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单词 磁控溅射镀膜装置
释义
磁控溅射镀膜装置

Encyclopedia

  • 工学物理气相沉积技术
    magnetron sputtering equipment磁控溅射镀膜装置
    在真空室中利用磁控溅射技术在基片(工件)表面形成薄膜的镀膜装置,主要由真空室、真空(排气)系统、充气系统、磁控溅射源系统和控制系统组成。

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