“磁控溅射镀膜装置”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	磁控溅射镀膜装置
释义	磁控溅射镀膜装置 Encyclopedia 工学物理气相沉积技术释 magnetron sputtering equipment磁控溅射镀膜装置在真空室中利用磁控溅射技术在基片（工件）表面形成薄膜的镀膜装置，主要由真空室、真空（排气）系统、充气系统、磁控溅射源系统和控制系统组成。
随便看	代数的线性表示代数的结构常数代数的自同构代数的范代数的表示代数直接极限代数相关代数相关元代数相关函数代数相关定理代数相关数代数相关族代数相关的代数相关集代数码代数积分代数稳定判据代数空间代数符号代数等价代数等价流形代数等价的代数等价闭链代数等价集代数算子

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