| 释义 |
磁控溅射
Encyclopedia
工学表面技术释
magnetron sputtering磁控溅射
利用氩气和氧气混合气体中的等离子体在电场和交变磁场的作用下，被加速的高能粒子轰击靶材表面，能量交换后，靶材表面的原子脱离原晶格而逸出，转移到基体表面而成膜的一项技术。
工学溅射工艺释
magnetron sputtering磁控溅射
在真空条件下电离惰性气体，气体离子在电场的作用下，轰击金属靶材使金属原子沉积到玻璃表面的技术。
工学薄膜沉积释
magnetron sputtering磁控溅射
在溅射的基础上增加一个平行于靶平面的封闭磁场，运用靶材自身的电场与磁场的相互电磁交互作用，将二次电子束缚在靶表面的特定区域来增加电离效率，增加溅射出离子的能量和数量，从而实现高速沉积薄膜的方法。
Physics
Chemistry
|