“硅基微机电系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	硅基微机电系统
释义	硅基微机电系统 Encyclopedia 工学微纳器件释 silicon-based micro electro-mechanical system; silicon-based MEMS硅基微机电系统在硅、绝缘体上硅（silicon-on-insulator，SOI）等基底材料的基础上，应用半导体微加工技术制造的各种微传感器、微执行器以及微系统的总称。
随便看	可定向流形可定向的可定向空间可定向纤维丛可定向设计可定向超曲面可定域性可实现公式可实现公式集可实现函数可实现同调类可实现序列可实现性可实现性问题可实现的可实现线性表示可实现谓词公式可审计性可容忍性可容性可容纳序数可容纳空间可容纳集合可容许决策函数可容许性

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