“硅基微机电系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	硅基微机电系统
释义	硅基微机电系统 Encyclopedia 工学微纳器件释 silicon-based micro electro-mechanical system; silicon-based MEMS硅基微机电系统在硅、绝缘体上硅（silicon-on-insulator，SOI）等基底材料的基础上，应用半导体微加工技术制造的各种微传感器、微执行器以及微系统的总称。
随便看	基调树种基谐振动模基谐振动模式基谐波基谢廖夫基贝尔基质基质势基质吸力基质喷播基质搅拌机基质晶体基质栽培基质消毒机基质渗透率基质片层基质类囊体基质细胞基质菌丝基质蛋白基质-裂缝相互作用基质辅助激光解吸电离–飞行时间质谱基质辅助激光解吸离子化基质辅助激光解吸附电离基质辅助激光解吸飞行时间质谱仪

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