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硅基微机电系统
释义
硅基微机电系统
Encyclopedia
工学
微纳器件
释
silicon-based micro electro-mechanical system; silicon-based MEMS
硅基微机电系统
在硅、绝缘体上硅(silicon-on-insulator,SOI)等基底材料的基础上,应用半导体微加工技术制造的各种微传感器、微执行器以及微系统的总称。
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更新时间:2025/3/16 15:47:23