“硅基微机电系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	硅基微机电系统
释义	硅基微机电系统 Encyclopedia 工学微纳器件释 silicon-based micro electro-mechanical system; silicon-based MEMS硅基微机电系统在硅、绝缘体上硅（silicon-on-insulator，SOI）等基底材料的基础上，应用半导体微加工技术制造的各种微传感器、微执行器以及微系统的总称。
随便看	晚型亚巨星晚型亚矮星晚型变星晚型巨星晚型旋涡星系晚型星晚型星系晚型星系团晚型矮星晚型超巨星晚安!中国晚安，苔丝狄蒙娜晚幼粒细胞晚报晚明曲家年谱晚晴簃诗汇晚更新世大型动物灭绝事件晚期内体晚期势垒反应晚期尸体现象晚期强烈撞击事件晚期智人晚期注水晚期流产晚期演化天体

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。