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真空质谱计
释义
真空质谱计
Encyclopedia
工学
真空测量技术
释
vacuum mass spectrometer
真空质谱计
利用质谱学原理测量真空系统或真空器件中残余气体成分或分压强的仪器。又称分压强计。
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更新时间:2025/3/4 2:11:34