“真空表面分析技术”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	真空表面分析技术
释义	真空表面分析技术 Encyclopedia 工学真空物理释 surface analysis in vacuum真空表面分析技术在真空中用一束具有能量的探测粒子（入射粒子）轰击固体表面，使它们与固体原子发生相互作用，然后检测其产物（出射粒子）以获得表面信息的技术。
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