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单词 相移掩膜等离子体成像光刻
释义
相移掩膜等离子体成像光刻

Encyclopedia

  • 工学等离子体成像光刻
    phase-shifting mask plasmonic imaging lithography相移掩膜等离子体成像光刻
    利用相移掩模技术,提高等离子体成像光刻分辨力的等离子体成像光刻技术。

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