“白光扫描干涉显微术”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	白光扫描干涉显微术
释义	白光扫描干涉显微术 Encyclopedia 工学干涉显微术释 white-light scanning interferometric microscopy白光扫描干涉显微术采用相移干涉显微术进行表面测量的显微术。又称低相干干涉术。
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