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白光扫描干涉显微术
释义
白光扫描干涉显微术
Encyclopedia
工学
干涉显微术
释
white-light scanning interferometric microscopy
白光扫描干涉显微术
采用相移干涉显微术进行表面测量的显微术。又称低相干干涉术。
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更新时间:2026/8/1 7:31:56