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白光干涉测量法
释义
白光干涉测量法
Encyclopedia
工学
量块校准
释
white light interferometry measurement
白光干涉测量法
一种精密测量几十纳米到几厘米的物体表面轮廓的光学非接触式测量方法。
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更新时间:2025/3/1 12:00:55