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电子束物理气相沉积
释义
电子束物理气相沉积
Encyclopedia
工学
[薄膜材料]
释
electron beam physical vapor deposition; EB-PVD
电子束物理气相沉积
以电子束作为热源的蒸镀方法。简称EB-PVD。
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更新时间:2025/3/19 17:18:52